亲自视察,主要倒不是因为晶圆厂,而是为了浸润式光刻机!
当初专门通过张儒京挖来了林本坚,投资支持他研发不同于此时主流干式光刻机的浸润光刻机技术,用了近四年的时间,终于将浸润式光刻机技术研发成功了!
前世的时候,林本坚是2002年才和阿斯麦合作,花了一年多的时间研发出世界第一台浸润式微影机台,这次花了4年,自然是因为中芯国际这边的底蕴还不足,比不得已经成立了8年的阿斯麦。
不过时间虽然长了些,但是这次动手的早,现在第一台浸润式微影机台问世时间依旧是2004年。在原有193nm干式光刻镜头上发展浸润式光刻,改用水代替空气作为介质,注入为浸润式设计的镜头与晶圆上的光阻之间,把进入光阻的光波长缩到134nm。
吴念祖见此立马对林本坚大肆夸奖:“林总工,你这次可真是开发出了一项足以改变世界的新技术!”
林本坚本人自然也是开心万分,不过还是谦虚道:“吴生,目前这还只是样机,想要真正实现量产,我预估还要一到两年时间。”
吴念祖哈哈笑道:“2年时间,没关系,我当然等得起。对了,现在外界对于我们这个新技术有什么反应?”
林本坚闻言后笑容略微收敛:“有很大的争议,尤其是一直处于业界领先地位的霓虹尼康和佳能,他们是坚定的干式光刻机拥趸,而且也已经投入了大量研发资金和资源到干式光刻机上面,因此对于我们的浸润式光刻机极力唱衰。”
吴念祖闻言点了点头,前世的时候就是这样,实际上即使浸润式光刻机2004年问世了,也并没有立马就成为业界主流,阿斯麦在和尼康佳能斗争了四年后,在08年左右才算是靠着正确的技术道路取得了完全上风,继而垄断了光刻机的高端市场。
现在尼康和佳能就是光刻机的两家巨头,他们的发声也直接影响了整个业界的倾向,他们表示他们的最新干式光刻机也快要出炉了,将会证明干式光刻机才是王道。
没错,现在就是技术路线之争,谁能赢谁就能够通吃高端市场。不过吴念祖并不担心,时间会证明他们是正确的一方。
而且,也正是有着尼康和佳能的这种大肆唱衰,才能给他们赢得更多时间啊,目前他们压根就没受到什么老美的打压,一项新技术能不能成功市场化,这可都是要时间经过市场检验的,并非一问世就能立刻上马改变整个行业。因此就算是老美那边,目前也是更信任一直以来领先的干式光刻机技术,倒是学术界对于浸润式光刻机的反响还比较大。
吴念祖对林本坚笑着说道:“林总工,接下来还要辛苦你了,一方面要让浸润式光刻机尽早能够实现量产,另一
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